磁控溅射仪
无
- 品牌：美国丹顿
- 型号：DESK TOP PRO
- 产地：美国
- 启用日期：2012-05-04
- 学科领域：材料科学
仪器信息
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磁控溅射仪
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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材料科学
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设备由一个溅射室构成，溅射室内有两个个三英寸的倾斜靶和一个溅射托盘，可以溅镀尺寸不超过10cm的基片；设备的极限真空度：≤5x10-6 torr；系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到5x10-5 torr；
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制备金属合金膜、多层膜
服务信息
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样品镀膜
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具体请联系设备管理员
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详见实验处网站
联系方式
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能源学院
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王德超
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15164060298
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wangdechao@xmu.edu.cn
