纳米通用形发生器
General Purpose Nano Pattern Generator
- 品牌：中国科学院电子研究所
- 型号：DY-2000d
- 产地：中国
- 启用日期：2012-12-31
- 学科领域：化学
仪器信息
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纳米通用形发生器
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General Purpose Nano Pattern Generator
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电子测量仪器>通用电子测量仪器>其他
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化学
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与日本电子扫描电镜联用，形成电子束光刻系统，进行纳米图形加工。
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高速数字信号处理器（DSP）；高精度图形数据采集器；带有温控的16位数模转换器（D/A）；液晶跟踪显示器（LCD）；控制用计算机。
服务信息
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500元/样
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详见实验办网站
联系方式
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化学化工学院
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周勇亮
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0592-2181583
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ylzhou@xmu.edu.cn
