激光直写光刻系统
Laser direct writing system
- 品牌：Durham Mafneto Optics Ltd.
- 型号：MLTM
- 产地：英国
- 启用日期：2015-04-17
- 学科领域：物理学,电子与通信技术
仪器信息
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激光直写光刻系统
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Laser direct writing system
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工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
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物理学,电子与通信技术
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激光波长405纳米，最高分辨率0.6微米，最大样品尺寸：8英寸
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与通过物理掩模板进行光照的传统工艺不同，激光直写是通过电脑控制一系列激光脉冲的开关，在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案。 15个蓝光激光头可以在电脑控制下进行平行工作，对基片上无需高分辨率的部分进行高速书写曝光，之后自动切换高分辨激光，并对需要高分辨的细节进行加工，在加工速度和分辨率之间取得了最好的平衡，并通过软件改变曝光图案设计完整保证了其灵活性。
服务信息
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光刻
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177元/小时
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用户经过培训并考核通过、获得授权才能预约。
联系方式
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物理科学与技术学院
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刘达艺
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05922187737
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day@xmu.edu.cn
