发射扫描电子显微镜

发射扫描电子显微镜

SEM

分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜

材料科学,电子与通信技术,航空、航天科学技术

1、分辨率：0.8nm@15kV，1.6nm@1kV，2.0nm@30kV（VP mode）。2、放大倍数：12~1,000,000×。 3、加速电压：0.02 ~30kV。 4、探针电流：4pA~20nA（12pA~100nA可选）。 5、样品室：Φ330mm×270mm。 6、样品台：五轴优中心全自动型，X = 130mm，Y = 130mm，Z = 50mm，T=-3to70°，R=360°连续旋转。 7、系统控制：基于Windows的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制。可实现电子束光刻，芯片尺寸10*10 mm， 光刻最小尺寸30 nm。

适用于各种样品的微观形貌观察和分析，结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析，可实现电子束光刻，芯片尺寸10*10 mm， 光刻最小尺寸30 nm。

用于各种样品的微观形貌观察和分析，结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析，可实现电子束光刻，芯片尺寸10*10 mm， 光刻最小尺寸30 nm。

300元/小时

7天24小时对外预约开放；可经培训后自主操作，按机时收费。