原子层沉积系统
Atomic layer deposition system
- 品牌：芬兰Picosun公司
- 型号：R-200
- 产地：芬兰
- 启用日期：2015-12-31
- 学科领域：信息科学与系统科学,工程与技术科学基础学科
仪器信息
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原子层沉积系统
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Atomic layer deposition system
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
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信息科学与系统科学,工程与技术科学基础学科
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六寸，PE型
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超薄介质薄膜沉积
服务信息
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HfO2、Al2O3介质薄膜沉积
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400元/小时
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无
联系方式
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物理科学与技术学院
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黄巍
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15259208367
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weihuang@xmu.edu.cn
