电子束蒸发系统
AMOD Ebeam Deposition System
- 品牌：Angstrom Engineering
- 型号：AMOD
- 产地：加拿大
- 启用日期：2016-05-11
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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电子束蒸发系统
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AMOD Ebeam Deposition System
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备
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电子与通信技术
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极限真空度可达9X10-8Torr，电子枪电源为6kw，镀膜均匀性＜±3%，镀膜重复性优于±2%
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制备金属、绝缘体的纳米薄膜
服务信息
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薄膜样品制备
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300元/时
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仅接受“网上预约”
联系方式
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电子科学与技术学院
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蔡国雄
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15280269412
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gxcai8303@xmu.edu.cn
