磁控溅射镀膜机
无
- 品牌：成都真空机械厂
- 型号：JC-500-3/D
- 产地：中国
- 启用日期：2003-07-07
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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磁控溅射镀膜机
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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电子与通信技术
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1.两个直径为100mm的磁控靶 2.一套直流靶电源，功率为1KW。一套13.56MHZ的射频电源，功率为1KW 3.工件转盘转速0-20转/分可调
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钛、铝、铜、金等金属材料薄膜制备
服务信息
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1．适用于溅射金属材料，如钛、铝、铜、金等金属材料。 2．适合4英寸及以下各种规格基片
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250元/小时
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无
联系方式
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萨本栋微米纳米科学技术研究院
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张春权
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18959282629
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cqzhang@xmu.edu.cn
