超高分辨场发射扫描电子显微镜

分辨率： 二次电子成像 0.5 nm @ 15 kV 0.8 nm @ 1 kV 背散射电子成像 1.0 nm @ 1 kV 电制冷X射线能谱仪（能量分辨率Mn (Kα) < 127 eV，元素分析范围为Li~U）

该设备具有独立的二次电子探测器（Inlens二次电子探测器和SE2探测器）和背散射电子探测器（EBS电子探测器和BSD1电子探测器），能够获得样品表面形貌的二次电子图像或者背散射电子图像，用以观察样品在微、纳米级尺度上的表面形貌及结构；同时该设备还配有电制冷X射线能谱仪（能量分辨率Mn (Kα) < 127 eV，元素分析范围为Li~U），可分析样品微区元素成分及微区元素线分布、面分布情况。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。