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启用 磁控溅射台

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-3洁净室
仪器型号：PVD-100
所属机构：电子科学与技术学院

启用 快速退火炉2

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-3洁净室
仪器型号：RTP-150-EP-HT
所属机构：电子科学与技术学院

启用 磁控溅射台

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-3洁净室
仪器型号：PVD-100
所属机构：电子科学与技术学院

启用 磁控溅射台

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-3洁净室
仪器型号：PVD-100
所属机构：电子科学与技术学院

启用 原子层沉积机

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C202-2洁净室
仪器型号：TALD-150D
所属机构：电子科学与技术学院

启用 晶圆级键合机

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-5洁净室
仪器型号：EVG510
所属机构：电子科学与技术学院

启用 等离子深硅刻蚀机

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-4洁净室
仪器型号：HSE M200
所属机构：电子科学与技术学院

启用 氧化扩散炉

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C406-5洁净室
仪器型号：HQ150A-DF
所属机构：电子科学与技术学院

启用 原子层沉积机

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C202-2洁净室
仪器型号：TALD-150DBO
所属机构：电子科学与技术学院

启用 原子层沉积机

仪器分类： 样品处理
使用模式： 按时预约 项目委托
放置位置：文宣楼C202-2洁净室
仪器型号：TALD-150R
所属机构：电子科学与技术学院
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